从手机、电脑到汽车、火箭，从低空经济到海洋探测......在万物互联的浪潮下，智能传感器如同空气一样，虽然不引人注意，却早已无处不在，支撑着我们愈发智能的未来。小小的传感器到底承载了多少科技和智慧？“活力中国调研行”记者团来到安徽蚌埠中国传感谷寻找答案。 

　　万物互联 感知先行 

　　传感器是数据采集的源头，各类智能传感器像灵敏的触角，通过各种设备实现信息监测和数据采集，为整个物联网输送着海量的基础数据。而智能传感器凭借先进的技术手段，克服甚至突破人类五感的生理局限，将现实世界同数字世界链接起来。它让我们的感知更宽广、更精细，更好地服务于人类生活和工业生产等各个领域。 

　　在安徽华鑫微纳集成电路有限公司（以下简称“华鑫微纳”）厂房的天花板上，一个科技感十足的画面正在上演——一条条如同城市道路的轨道纵横交错，上面一辆辆白色“小车”搭载着制成芯片的材料，精准驶向各自的目标位置，进行上料、下料及跨工序传送流程。 

华鑫微纳生产线上，天车系统正在工作

　　这个系统有个形象的名字——天车系统，它覆盖整厂，可将设备效能提升约10%，每年节省人力成本近2600万元人民币，并有效降低产品污染与损伤风险，提升良率5%-10%，极大提升了企业的智能化和竞争力。 

　　华鑫微纳副总经理丁敬秀介绍，这是国内第一条8英寸MEMS（微机电系统）晶圆智能产线，可以提供定制化开发和量产，自动化率超90%，实现了近无人化生产。他表示，该生产线目前正处于产品开发和爬坡阶段，全部建成后可月产晶圆3万片，预计2026年可以实现产值12亿元人民币。 

　　串珠成链 痛点变通点 

　　极具高精尖属性的智能传感器是现代工业的重要基础，如何尽快实现国产化，不被外国“卡脖子”，是华鑫微纳的攻关重点。丁敬秀表示，华鑫微纳一直致力于打造国产标准化的MEMS工艺技术体系，目前已经形成了6套准标准的工艺体系。这条8英寸MEMS晶圆生产线项目，打通了高性能MEMS制造关键环节，为国内MEMS传感器核心芯片自主可控提供了有力支持。 

华鑫微纳生产线上，研发人员在进行设备调试

　　蚌埠经开区党工委书记、管委会主任陶广生介绍，“传感器应用领域很多，种类很杂，多达上万种，但单个产值却非常小，制约了很多科研企业的发展。”而在中国传感谷，这些痛点都能打通。陶广生说，8英寸MEMS智能产线可以进行批量生产，另一条6英寸生产线则能以低成本进行中试和小试。这两条生产线和诸多工艺有效解决了智能传感产业“有研无产、有产无研、研产脱节”的行业难题。 

　　中国传感谷是中国传感器技术发展和创新的策源地之一。在这里，200余家智能传感器相关企业云合雾集，形成了从研发设计到终端应用的全产业生态，集群发展效益持续提升。 

　　依托晶圆制造核心优势，产自中国传感谷的逾300种传感器产品，以其高集成、高精度、高效能、低成本的优势，既可满足航天级、车规级、工业级、消费电子类产品需求，又可为智能汽车、智能穿戴、智慧城市等多个场景赋能增效。 

　　“十四五”规划将物联网作为数字经济发展重点产业，并明确提出聚焦传感器等关键领域，加强关键数字技术创新应用。顺着时代大潮，蚌埠这座老工业基地城市，汇聚蓬勃力量，以科技创新激发新兴产业的新动能。 

　　2024年，中国传感谷被评为全国MEMS传感器十大园区之一。同年，以中国传感谷为主体，蚌埠经开区规上智能传感器企业产值同比增长55.8%。预计到2027年，中国传感谷产值将突破300亿元。